Βιομηχανία λειαντικών και εργαλείων λείανσης Popular Science

Εναπόθεση χημικών ατμών ζεστού σύρματος

 

Η εναπόθεση χημικού ατμού ζεστού νήματος (HFCVD) είναι μια διαδικασία για την προετοιμασία μεμβρανών διαμαντιού. Η κύρια αρχή του είναι να περάσει ένα μείγμα αερίου και υδρογόνου που περιέχει άνθρακα σε έναν θάλαμο κλιβάνου αντίδρασης μέσω εναπόθεσης ατμών χαμηλής πίεσης σε υψηλή θερμοκρασία και να το αποσυνθέσει σε ενεργές ομάδες που περιέχουν άνθρακα και διεγερμένα άτομα υδρογόνου μέσω ενός θερμού σύρματος (σύρμα βολφραμίου ή σύρμα μολυβδαινίου) σε υψηλή θερμοκρασία, τα οποία στη συνέχεια εναποτίθενται στο υπόστρωμα για να σχηματίσουν ένα φιλμ άνθρακα. (Λιαντικά και εργαλεία λείανσης Industry Popular Science)